本发明公开了一种多孔光阑的制备方法，包括以下步骤：对圆形金属钼片依次使用氨水、丙酮、酒精和去离子水进行超声清洗，并使用N2吹干；将经过N2吹干的圆形金属钼片进行烘干；使用匀胶机涂上正性光刻胶，并依次进行前烘、曝光、显影和坚膜处理，得到光刻后的圆形金属钼片；将光刻后的圆形金属钼片置于腐蚀液中搅拌，腐蚀液由磷酸、硝酸、乙酸和去离子水组成；用去离子水对腐蚀后的圆形金属钼片冲洗，然后进行刻蚀处理；将刻蚀后的圆形金属钼片进行双面蒸金处理，得到多孔结构光阑。本发明的一种多孔结构光阑的制备方法，解决了现有技术中存在的光阑加工效率低、成本高的技术问题。
