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紫外感光镧锶锰氧溶胶及其微细图形化薄膜的制备方法

专利类型:
申请号/专利号:
CN201410356077.2
申请人(专利权人):
段宗范
行业类别:
技术成熟度:
公布时间:
证书状态:
授权
交易价格:
45000元
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技术摘要

权利要求书

技术附图

交易流程

委托经理人

本发明公开了一种紫外感光镧锶锰氧溶胶的制备方法,由La(NO3)3·6H2O、Sr(CH3COO)2·0.5H2O、Mn(CH3COO)2·4H2O、2,2′-联吡啶按照摩尔比为0.67:0.33:1:(0.665~1.33)制成;制备微细化薄膜的方法为:将该溶胶经浸渍提拉法制备出感光性La0.67Sr0.33MnO3凝胶薄膜;然后依次经紫外掩模法或双光束激光干涉法曝光、溶洗和热处理得到微细图形化的La0.67Sr0.33MnO3薄膜。本发明制备工艺简单、制备成本低、环境污染小;所制备La0.67Sr0.33MnO3薄膜的微细图形结构规整,线度可小至微米级;制备过程易于控制,适用于工业化生产。

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