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本发明公开了一种紫外辅助热处理制备钇钡铜氧高温超导薄膜的方法，以具有对深紫外具有感光特性的钇钡铜氧溶液作为前驱体溶液，制备钇钡铜氧前驱凝胶薄膜，然后依次经过干燥、紫外辅照处理、终处理，得到钇钡铜氧高温超导薄膜。本发明在薄膜热分解过程中，采用紫外辐照，在光热共同作用下，使得薄膜中阳离子分布均匀，薄膜更加致密，促进了性能的提高；另一方面，紫外线中185nm的紫外线在薄膜热分解过程中产生活性氧，抑制了Cu元素的偏析，使得CuO颗粒分布均一，对于制备多层厚膜的性能改善具有积极意义。

一种紫外辅助热处理制备钇钡铜氧高温超导薄膜的方法

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