本发明公开了紫外感光铌酸锂溶胶的制备方法,以Nb(CH3CH2O)5、CH3COOLi·2H2O、苯酰丙酮、无水乙醇、丙烯酸按一定的摩尔比例制成,随后添加无水乙醇调节至金属总离子浓度为0.3~0.5mol/L,即可得到感光LiNbO3溶胶;本发明还公开了使用紫外感光铌酸锂溶胶制备薄膜微细图形的方法,利用感光LiNbO3溶胶,通过浸渍提拉法在基板上制备凝胶薄膜,随后依次经干燥、曝光、溶洗、热处理,即得LiNbO3薄膜微细图形。本发明采用紫外掩膜板法或激光干涉法直接在凝胶膜光刻,无需其他辅助工艺,即可制备大面积微细图形;浸渍提拉法获得紫外感光LiNbO3凝胶薄膜,薄膜厚度易控制,可获得较大尺寸凝胶膜,制备的LiNbO3微细图形线条光滑,结构规整,薄膜没有污染,性能稳定。