本发明公开了一种用于检测SF6替代气体分解产物的亚微米薄膜传感器，包括传感器基底，传感器基底上表面为电流感应薄膜，用于输出传感器响应电流，传感器基底下表面为粘合材料层，用于固定传感器基底，电流感应薄膜上设置有气敏探针阵列，气敏探针阵列外部涂覆有无定型氟聚合物层，其中，传感器基底采用聚四氟乙烯或者液态硅胶材料制成，电流感应薄膜采用金属材料制成，通过屏蔽电缆输出响应电流，粘合材料层为低渗透性的聚丙烯薄膜，气敏探针阵列材料为对氟原子敏感的叶绿素，气敏探针阵列利用等离子体化学气相沉积法制备而成，本发明解决了现有技术中缺乏能够精确检测环境友好型SF6替代气体分解组分的设备的问题。
