本发明公开了一种掺杂碳纳米管的氧化硅阻变薄膜的制备方法，包括以下步骤：步骤1，分别制备氧化硅溶胶和碳纳米管‑无水乙醇混合溶液；步骤2，先按照20:0.5‑1的体积比分别量取经步骤1得到的氧化硅溶胶和碳纳米管‑无水乙醇混合溶液，然后将量取后的氧化硅溶胶和碳纳米管‑无水乙醇混合溶液混合，并在密封条件下搅拌均匀，得到碳纳米管‑氧化硅混合溶液；步骤3，选取基板，并采用浸渍提拉法使基板在经步骤3得到碳纳米管‑氧化硅混合溶液中提拉成膜，制备出碳纳米管‑氧化硅凝胶薄膜，之后对制备出的碳纳米管‑氧化硅凝胶薄膜进行热处理，最终得到掺杂碳纳米管的氧化硅阻变薄膜。
