本发明公开了一种抗大电压氧化硅阻变薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)以碳纳米管粉末为溶质，无水乙醇为溶剂，制备浓度为10‑5g/ml的碳纳米管溶液；(2)按照1:1‑20:0.01‑0.05：0.5‑1的质量比分别称取正硅酸乙酯、无水乙醇、蒸馏水和稀盐酸，将称取物混合均匀得到氧化硅溶液；(3)按照0.5‑1：20的体积比分别量取经步骤1得到的碳纳米管溶液和经步骤2得到的氧化硅溶液，并将量取物搅拌均匀，得到掺杂碳纳米管的氧化硅溶液；(4)选取基板，将基板置于经步骤3得到的掺杂碳纳米管的氧化硅溶液中，并采用浸渍提拉法在其表面提拉一层凝胶薄膜；(5)将经步骤4得到的基板放入管式炉中退火处理，最终得到抗大电压氧化硅阻变薄膜。
