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本发明公开了一种CuAlO2/Ga2O3紫外光电二极管，包括顶电极和底电极，两电极之间由顶电极向底电极方向依次设置有P型晶体CuAlO2薄膜、I型晶体β‑Ga2O3薄膜和N型单晶β‑Ga2O3衬底，本发明还公开了一种CuAlO2/Ga2O3紫外光电二极管的制备方法，本发明解决了现有技术中由于p型Ga2O3材料的缺乏而无法制备Ga2O3基PIN紫外光电二极管的问题。

CuAlO2/Ga2O3紫外光电二极管及制备方法

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