一种非晶氧化钨薄膜的制备方法

专利类型：

申请号/专利号:

CN201711239523.1

申请人（专利权人）:

任洋

行业类别:

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授权

交易价格：

45000元

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本发明公开了一种非晶氧化钨薄膜的制备方法，具体步骤如下：步骤1，将液态烷烃与溶剂混合，在一定温度范围内搅拌，获得溶液A；步骤2，再将WCl6与溶液A混合，搅拌，静置分层，获得分层溶胶B；步骤3，利用分层溶胶B，采用浸渍提拉法在导电玻璃基板上镀凝胶膜，经250～300℃热处理得到非晶WO3薄膜。本发明的制备方法工艺简单、大大提高了薄膜制备效率、降低了成本。

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