政策资讯

用于Topcon电池制作的poly-Si绕镀的去除方法

专利类型:
申请号/专利号:
CN201910458001.3
申请人(专利权人):
林涛
行业类别:
技术成熟度:
公布时间:
证书状态:
授权
交易价格:
45000元
我要咨询

摘要详情

技术摘要

权利要求书

技术附图

交易流程

委托经理人

用于Topcon电池制作的poly‑Si绕镀的去除方法,步骤为:1)将原始硅片去除损伤层,双面制绒;2)将获得的绒面硅片完成前表面硼扩散掺杂工艺,保留正表面的硼硅玻璃层;3)正面的镀膜,使硼硅玻璃层上生长一层SiNx薄膜;4)对背表面进行抛光及边缘刻蚀,去除硼掺杂层,使其正背面绝缘;5)背表面生长隧穿氧化层及多晶硅层;6)在多晶硅层注入磷源;7)去除有机物及表面金属离子污染;8)去除SiNx膜、poly‑Si层及硼硅玻璃层;9)背表面退火,使poly‑Si层形成N+的掺杂;10)在背表面镀SiNx膜层,正表面镀Al2O3及SiNx的复合膜层;11)将镀完膜的电池结构的正背面分别进行丝网印刷,烧结完成电池结构正背面的金属化;方法稳定性好、易于操作,有利于产业化生产。

我要咨询

商标号:
联系人:
联系电话:
商标名称:
报价:
需求描述:
提交
服务
客服
电话:18504815395
邮箱:965848622@qq.com
地址:呼和浩特市赛罕区昭乌达路70号内蒙古科技大厦906
微信
招聘
返回顶部