本发明公开了一种基于TSV垂直开关的惠斯通电桥可变电感器，包括顶部介质层a、中间硅衬底层和底部介质层b，硅衬底层中央设置有TSV垂直开关，TSV垂直开关具有漏极、栅极和源极，通过给栅极‑源极和漏极‑源极加不同的电压，可控制TSV垂直开关的通断，TSV垂直开关相对两侧的硅衬底层上分别设置有两排交错的硅通孔阵列，四排硅通孔通过金属线交替连接形成惠斯通电桥的四个桥臂，分别为电感L1、电感L2、电感L3和电感L4，电感L2和电感L3的一侧通过顶部金属线h相连通，电感L2和电感L3的另一侧通过顶部金属线i相连通，金属线h上引出有电感器输入端，金属线i上引出有电感器输出端。
