本发明公开了一种针对高精密机床静压轴承的热变形测量装置,包括固定模块、温度模拟模块、数据监测模块;固定模块包括试验台底座,验台底座上连接试验台基座,试验台基座连接轴承座;温度模拟模块包括恒温水箱,恒温水箱侧面底端依次连接供液泵、恒温管道、回流泵,回流泵连接恒温水箱的侧面上端,恒温管道穿过轴承座;数据监测模块包括计算机,计算机连接数据采集装置,数据采集装置分别连接温度传感器、电感测头,温度传感器连接恒温管道;能够测试不同尺寸、不同温度下轴承内圈的热形变量,且精度高;通过恒温水箱、回流泵、供液泵提供循环动力来给测试件模拟均匀的温度环境;还具有体积适中、结构紧凑、使用寿命长、能耗低的优点。