本发明公开了可有效阻隔氧扩散的掺钛锆酸钇缓冲层材料，使用化学溶液沉积法制成含有相应金属元素的凝胶薄膜并经热处理得到化学组分为Y2(Zr1‑xTix)2O7的氧化物薄膜；且Ti4+离子被掺杂进入Y2Zr2O7的晶格中形成具有氧空位有序排列的烧绿石结构的Y2(Zr1‑xTix)2O7缓冲层材料。该缓冲层材料可有效地阻隔YBCO超导层与NiW金属基带之间的氧元素扩散。其制备方法：步骤1、胶体配制：将六水硝酸钇、八水氧氯化锆、钛酸丁酯按照一定的金属阳离子摩尔比溶解于溶剂中，得到前驱溶液；步骤2、将步骤1制得的前驱液涂敷于单晶硅基片上进行适当的热处理，制得Y2(Zr1‑xTix)2O7缓冲层。
