本发明公开了一种提高纳米金属多层膜韧性的方法，采用磁控溅射技术沉积一种组元材料A的第一层A1，接着沉积第二种组元材料B的第一层B1；然后再沉积组元材料A的第二层A2，A2的厚度不同于A1，接着沉积组元材料B的第二层B2，B2的厚度不同于B1；……；沉积组元材料A的第n层An，An的厚度不同于An‑1，沉积组元材料B的第n层Bn，Bn的厚度不同于Bn‑1，如此交替沉积两种组元材料A和B并同时改变沉积的单层厚度，形成单层厚度在薄膜生长方向上梯度变化的金属多层膜。本发明利用磁控溅射技术在薄膜生长方向上调控单层厚度梯度变化，可大幅提高纳米金属多层膜的韧性。
