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直拉硅单晶生长系统中磁场电源的控制方法

专利类型:
申请号/专利号:
CN201910098559.5
申请人(专利权人):
刘丁
行业类别:
技术成熟度:
公布时间:
证书状态:
授权
交易价格:
45000元
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摘要详情

技术摘要

权利要求书

技术附图

交易流程

委托经理人

本发明公开了直拉硅单晶生长系统中磁场电源的控制方法,具体步骤如下:在当前k时刻获得系统采样信号,将负载电压vos(k)与目标电压vf(k)比较形成偏差信号Δv(k)输入外环无模型自适应控制器,内环MLD模型根据当前时刻的采样信号以及当前时刻的控制量u(k)进行模型状态更新;计算得到电感电流参考值Iref(k)和内环MLD模型更新完毕的模型状态xm(k);模型预测控制器根据Iref(k)以及当前时刻的模型状态xm(k)计算下一时刻的控制量u(k),将得到的控制量施加到被控系统以及内环MLD模型中。本发明实现了具有感性负载特性的磁场电源的精确控制。与传统控制方法相比,系统参数与模型参数一致时提高了系统稳定性以及控制精度;当系统参数发生变化导致模型失配时,也可以通过内外环调节使系统稳定。

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