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本发明公开了一种制备钛及钛合金EBSD样品的方法，包括：对样品表面进行预处理；先将电解槽放入冷却槽中，再向电解槽内加入抛光液，向冷却槽中加入冷却液，然后将不锈钢板放入电解槽内，并与电源负极连接，钛夹具连接电源正极，最后调节电源电压；利用钛夹具夹持处理后的样品，并放入抛光液中，调节电源电流，开始抛光，抛光时晃动钛夹具；取出样品进行清洗、烘干，完成抛光。抛光时间短，能提高抛光效率；能使EBSD实验数据采集和标定率达95％以上。

一种制备钛及钛合金EBSD样品的方法

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