本发明公开的基于微等离子体阵列的太赫兹波焦平面成像系统，包括直流电源，直流电源上串接限流电阻、电流表和供电控制模块并构成回路，供电控制模块上电连接有焦平面成像阵列，供电控制模块的两端并联有滤波器和锁相放大器且均构成回路，滤波器和锁相放大器与供电控制模块的共同回路上串接有电容器，供电控制模块与锁相放大器还共同连接有计算机。本发明基于微等离子体阵列的太赫兹波焦平面成像系统，解决了现有太赫兹波焦平面探测器阵列价格昂贵、工作温度、带宽、响应速度、响应率和NEP方面存在不足以及氖灯辉光放电探测器焦平面成像阵列存在NEP大、分辨率低和功耗大的问题。
