一种基于光学干涉原理的静电扫描测量系统，包括有可视化箱体；可视化箱体内设有试样放置平台，试样放置平台的一端连接有静电测试平台，试样放置平台的另一端连接有放电平台；将样品放置在铜盘电极上，关闭箱体操作口；通过X轴步进电机控制铜盘电极在X轴导轨上移动，试样移动至钼丝的正下方；利用Y1轴步进电机控制Y1轴导轨上的连接件a在Y1轴导轨上移动，对样品进行放电处理；通过X轴步进电机控制铜盘电极在X轴导轨上移动，将试样移动至静电测量棒的下方；通过Y2轴步进电机控制Y2轴导轨，使连接件b带动静电测量棒沿着Y2轴导轨移动，扫描整个试样的表面，将结果上传至上机位；具有测量效率高、测量时间短，结果准确的特点。
