基于TSV的超紧凑宽阻带U波段SIW滤波器

专利类型：

申请号/专利号:

CN202111421924.5

申请人（专利权人）:

王凤娟

行业类别:

技术成熟度:

公布时间:

证书状态:

授权

交易价格：

45000元

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委托经理人

本发明公开了一种基于TSV的超紧凑宽阻带U波段SIW滤波器，包括沿水平方向平行设置的上层RDL和下层RDL，上层RDL与下层RDL之间设有硅衬底，硅衬底上分布有三个依次相邻的由TSV构成的谐振腔，上层RDL的相对两侧分别设有输入RDL端口和输出RDL端口。本发明采用直接耦合的拓扑结构，能够实现三阶基片集成。

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