政策资讯

一种提高SiC功率芯片键合线功率循环能力的方法

专利类型:
申请号/专利号:
CN202010584587.0
申请人(专利权人):
谌娟
行业类别:
技术成熟度:
公布时间:
证书状态:
授权
交易价格:
45000元
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摘要详情

技术摘要

权利要求书

技术附图

交易流程

委托经理人

本发明公开了一种提高SiC功率芯片键合线功率循环能力的方法,通过在SiC功率芯片表面形成具有若干金属图形的金属层,使得键合后键合点与芯片表面铝金属化形成三维连接结构,提升芯片功率循环能力。金属图形为条状,金属层厚度小于或等于键合线直径,金属图形之间的间距大于键合线直径。本发明在不改变键合工艺的情况下提升了键合线功率循环能力,提高器件使用寿命。

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