一种二维电子气型光电导纵向开关及其制作方法

专利类型：

申请号/专利号:

CN202110678184.7

申请人（专利权人）:

贾婉丽

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交易价格：

45000元

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本发明公开了一种二维电子气型光电导纵向开关，包括半绝缘衬底层，半绝缘衬底层的下方依次制作有重n型掺杂区和阳极，半绝缘衬底层的上方设有外延层。本发明还公开了一种二维电子气型光电导纵向开关的制作方法，本发明提供了开关能够改善漏电流问题，并提高开关的重复频率。

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