技术摘要

权利要求书

技术附图

交易流程

委托经理人

本发明公开了一种欧姆接触区方块电阻的测试修正方法，主要解决现有技术关于欧姆接触区方块电阻Rshc计算不准确，以及计算过程复杂的问题。其实现方案是：制作两组结构类似的圆形欧姆接触测试图形，每组包含一个圆形欧姆电极、两个同心圆环形欧姆电极；然后分别测试两组圆形测试图形的总电阻；再利用该修正公式，对有源区方块电阻Rsh的值进行修正，进而准确计算出欧姆接触区的方块电阻Rshc的值。本发明具有测试图形简单易制作、计算简单、结果精确的优点，可用于半导体器件工艺检测与性能评估。

欧姆接触区方块电阻的修正方法

摘要详情

技术摘要

权利要求书

技术附图

交易流程

委托经理人

同类信息

我要咨询