耐高温碳化硅欧姆接触结构制作方法及其结构

专利类型：

申请号/专利号:

CN201710583819.9

申请人（专利权人）:

张艺蒙

行业类别:

技术成熟度:

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证书状态:

授权

交易价格：

50000元

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委托经理人

本发明涉及一种耐高温碳化硅欧姆接触结构制作方法，包括：选取SiC衬底；在所述SiC衬底表面生长SiC外延层；利用磁控溅射工艺在所述SiC外延层表面依次淀积Ni金属层、W金属层、TaSi2金属层及Pt金属层；快速退火形成所述耐高温碳化硅欧姆接触结构。本发明提供的耐高温碳化硅欧姆接触结构在高温、空气环境下有着良好热稳定性和电学特性。

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