政策资讯

基于磁电复合薄膜的柔性磁场强度传感器

专利类型:
申请号/专利号:
CN201810315143.X
申请人(专利权人):
陆小力
行业类别:
技术成熟度:
公布时间:
证书状态:
授权
交易价格:
50000元
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摘要详情

技术摘要

权利要求书

技术附图

交易流程

委托经理人

本发明公开了一种基于磁电复合薄膜的柔性磁场强度传感器的制作方法,主要解决现有磁场强度传感器灵敏度低且不能弯曲的问题。其实现方案是:1.在钛酸锶衬底上沉积一层镧锶锰氧薄膜,并在镧锶锰氧薄膜上依次沉积铁酸钴和钛酸钡薄膜,得到多层磁电复合薄膜;2.旋涂聚甲基丙烯酸甲酯,用碘化钾溶液除去镧锶锰氧薄膜;3.将脱离衬底的磁电复合薄膜转移到后续所需的柔性衬底上;4.在磁电复合薄膜表面的左右两边加电极,完成磁场强度传感器的制作。本发明采用磁电复合薄膜作为传感材料,实现了传感器的弯曲,且弯曲后薄膜的磁电特性显著增强,提高了磁传感器的灵敏度,满足柔性电子设备的要求,可用于半导体器件的制备。

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