本发明公开了一种HEMT开关器件，包括悬浮电极(9)和底部结构，其中悬浮电极(9)通过弹性件(12)固定在所述底部结构的上方，且所述悬浮电极(9)的底部设置有凸点电极(10)，所述底部结构包括衬底(1)，成核层(2)，缓冲层(3)以及势垒层(4)；另外所述弹性件(12)设置在所述衬底(1)上，所述缓冲层(3)的上表面还设置有源电极(6)和漏电极(7)，所述漏电极(7)与所述凸点电极(10)相对应，所述势垒层(4)的上表面设置有栅电极(8)和钝化层(5)。本发明所提出的HEMT开关器件，既具有静态功耗极低、开关速度快的特点，还具有击穿电压高，功率容量大的特点。
