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一种基于金刚石衬底的氮化镓器件及其制备方法

专利类型:
申请号/专利号:
CN201910326079.X
申请人(专利权人):
任泽阳
行业类别:
技术成熟度:
公布时间:
证书状态:
授权
交易价格:
50000元
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技术摘要

权利要求书

技术附图

交易流程

委托经理人

本发明涉及一种基于金刚石衬底的氮化镓器件及其制备方法。其中,基于金刚石衬底的氮化镓器件的制备方法包括步骤:在氮化镓材料层的第一面生长金刚石层;在所述氮化镓材料层的第二面生长AlN成核层;在所述AlN成核层上生长GaN缓冲层;在所述GaN缓冲层上生长AlGaN势垒层。该制备方法通过在氮化镓材料层的第一面直接生长金刚石层,避免引入介质层,消除了介质层材料热阻的影响,使得金刚石与氮化镓材料直接接触,从而使氮化镓器件直接利用热导率较高的金刚石进行散热,有效解决了氮化镓大功率器件的散热问题。

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