本发明涉及一种孔径式复合衬底氮化镓器件及其制备方法。其中，孔径式复合衬底氮化镓器件的制备方法包括步骤：对第一衬底的第一面进行刻蚀，形成若干凹槽；在若干所述凹槽中生长金刚石；对所述第一衬底的第二面进行减薄处理使所述金刚石露出，形成复合衬底；在所述复合衬底上生长氮化物材料，形成氮化物缓冲层。本发明实施例复合衬底中的金刚石与氮化物材料直接接触，避免在氮化物材料与金刚石之间采用介质层，消除了介质层热阻对氮化镓功率器件的影响，从而使氮化镓器件可以直接利用金刚石进行散热，有效解决了氮化镓大功率器件的散热问题，提高了器件性能。
