本发明涉及一种复合终端表面金刚石高压场效应晶体管及其制作方法，该晶体管包括：金刚石衬底；复合终端表面，位于金刚石衬底的表面；源电极，位于复合终端表面的一端；漏电极，位于复合终端表面的另一端；栅介质，位于源电极和漏电极之间的复合终端表面上，且覆盖部分源电极和部分漏电极；栅电极，位于栅介质上，且位于源电极和漏电极之间；其中，复合终端表面由间隔的氢终端表面和改性终端表面形成，且改性终端表面位于漏电极下方、漏电极和栅电极之间的栅介质下方以及栅电极靠近漏电极一侧的边缘下方。该晶体管中复合终端表面的采用抑制了反向泄露电流、提高了器件耐压能力、优化了器件性能。
