本发明提供的一种电磁干扰下数字电路内部瞬态分析方法,通过获取待测器件的数字电路;在预设的仿真软件中构建表示数字电路内部连接关系的等效模型以及表示等效模型内部状态参数的过渡参数组;在等效模型能正确运行的情况下,对等效模型外加电磁脉冲干扰,以使等效模型的内部性能发生变化,获得在电磁脉冲干扰下的过渡参数组及瞬态输出电平;将过渡参数组加入未加电磁脉冲干扰的等效模型中,以使等效模型的内部性能发生变化,获得稳态输出电平;基于瞬态输出电平以及稳态输出电平,确定待测器件的性能。本发明能够更准确地得到电磁脉冲干扰下待测器件的状态。