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基于二硫化钼/锗异质结的PIN型光电探测器及其制备方法

专利类型:
申请号/专利号:
CN202210825697.0
申请人(专利权人):
张军琴
行业类别:
技术成熟度:
公布时间:
证书状态:
授权
交易价格:
50000元
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摘要详情

技术摘要

权利要求书

技术附图

交易流程

委托经理人

本发明公开了一种基于二硫化钼/锗异质结的PIN型光电探测器及其制备方法,该探测器包括依次设置的Si衬底、SiO2氧化层和P‑Ge层,其中,SiO2氧化层上表面还设置有P+Ge层,P+Ge层设置在P‑Ge层的侧面;P‑Ge层上表面中间部分覆盖有本征Ge层,P+Ge层上表面均设置有阳极,本征Ge层上表面覆盖有MoS2薄膜层;MoS2薄膜层上表面设置有阴极,P+Ge层与阳极形成欧姆接触,MoS2薄膜层与阴极形成欧姆接触,MoS2薄膜层与本征Ge层形成异质结结构。通过控制PIN结构中本征Ge层的厚度可极大提高器件的频率响应和频率响应速度,能够实现器件的宽光谱、高灵敏和高响应速度。

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