政策资讯

磁控溅射铁磁性靶材的装置

专利类型:
发明
申请号/专利号:
CN202010661505.8
申请人(专利权人):
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行业类别:
C23C14/35
技术成熟度:
样品、实验阶段
公布时间:
证书状态:
有效
交易价格:
具体面议
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摘要详情

技术摘要

权利要求书

技术附图

交易流程

委托经理人

本专利对应一种磁控溅射设备辅助部件,通过对基座进行建议的改造,可使普通磁控溅射设备进行铁磁性材料的溅射。
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