本发明公开了一种可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置,包括固定在扫描电镜观察台面的机座,所述机座上开设有开槽,开槽的后侧机座上设有固定板,所述固定板上固定有伺服电机,在伺服电机的转子上固定有主动同步带轮;所述开槽的两侧设有托臂;在托臂上设有轴孔,在托臂上通过转轴安装有活动臂;所述活动臂上开设有U型槽,在转轴上且位于活动臂U型槽内固定有从动同步带轮;在转轴的一侧通过联轴器连接有转角检测传感器;所述活动臂的前端面固定有楔形探头,在探头的上表面固定有样品台,在样品台的两侧固定有样品夹等结构;该装置降低探头和样品台碰撞事故率、节约实验时间成本,使扫描电镜设备更容易升级到透射电镜技术级别。
1.一种可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置,其特征在于,包括固定在扫描电镜观察台面的机座,所述机座上开设有开槽,开槽的后侧机座上设有固定板,所述固定板上固定有伺服电机,在伺服电机的转子上固定有主动同步带轮;所述开槽的两侧设有托臂;在托臂上设有轴孔,在托臂上通过转轴安装有活动臂;所述活动臂上开设有U型槽,在转轴上且位于活动臂U型槽内固定有从动同步带轮;在转轴的一侧通过联轴器连接有转角检测传感器;所述活动臂的前端面固定有楔形探头,在探头的上表面固定有样品台,在样品台的两侧固定有样品夹;所述主动同步带轮与从动同步带轮通过同步带连接;所述探头与活动臂对接面设为凸面,在凸起上设有销孔,所述活动臂与探头对接上设为凹面,在探头上设有销孔,且两者销孔的位置一致,探头安插在活动臂的凹面内,并由销轴固定;所述探头与活动臂形成一个整体,活动臂转动的角度即为探头转动的角度。
2.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置,其特征在于:所述转轴为阶梯转轴。
3.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置,其特征在于:以SEM电子束相垂直平面为0°面,可以使任意SEM的电子束与探头平面夹角在-30°至150°或-15°至165°或-5°至175°或0°至180°中任意一夹角范围内。
4.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置,其特征在于:所述转轴通过轴承与拖臂固定,且轴承为滚珠轴承。
5.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置,其特征在于:所述活动臂与转轴通过键槽配合的形式安装。
6.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置,其特征在于:所述主动同步带轮与伺服电机通过键槽配合的形式安装。
7.根据权利要求1所述的可倾转透射模式电子背散射衍射实验装置,其特征在于:所述伺服电机与固定板之间设有一层橡胶垫。
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