本发明公开了一种靶材组件，包括：靶体盖圈、中心靶体、冷却背板，靶体盖圈在中部设置有开口，在内侧设置有腔室；中心靶体设置在腔室内，靶体盖圈的底部固定在冷却背板上；中心靶体的底面与靶体盖圈的底面位于同一个平面；中心靶体位于开口的上平面与上端面构成溅射面。本发明能够改善溅射强烈区域靶材消耗过快的情况，解决了现有技术中靶材利用率低以及溅射不均匀的问题。
1.一种靶材组件，其特征在于，包括：靶体盖圈、中心靶体、冷却背板，靶体盖圈在中部设置有开口，在内侧设置有腔室，靶体盖圈的上端面为环形平面或者环形斜面，靶体盖圈、腔室的外形为圆柱体，靶体盖圈的底部固定在冷却背板上；中心靶体设置在腔室内，中心靶体与腔室无缝隙紧密配合，中心靶体为单体靶或者焊接型靶；中心靶体的底面与靶体盖圈的底面位于同一个平面，中心靶体的底面与靶体盖圈的底面贴合于冷却背板上，中心靶体位于开口的上平面与靶体盖圈的上端面构成溅射面。
2.如权利要求1所述靶材组件，其特征在于，靶体盖圈与中心靶体的材质选用Cu、Al、Ni、Ti、W的单一金属或者合金。
3.如权利要求1所述靶材组件，其特征在于，靶体盖圈与中心靶体为相同材质。
4.如权利要求1所述靶材组件，其特征在于，靶体盖圈的材质为钛，中心靶体的材质为铝。
5.如权利要求1所述靶材组件，其特征在于，中心靶体与腔室采用螺纹连接的方式。
6.如权利要求1所述靶材组件，其特征在于，上端面的顶部设置有顶柱，顶柱为环形，顶柱的顶面为环形平面；上端面、顶柱、中心靶体位于开口的上平面构成台阶形的溅射面。
7.如权利要求6所述靶材组件，其特征在于，顶柱的外径与靶体盖圈的外径相同。
8.如权利要求1所述靶材组件，其特征在于，靶体盖圈、腔室、中心靶体的外形为矩形柱体。
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